江苏芯梦半导体设备有限公司

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全自动晶圆盒foup清洗机-凯发k8旗舰厅
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全自动晶圆盒foup清洗机

设备特点、工作原理

提供各种半导体片盒、foup、fosb清洁方案

客户定制话清洗方案

做到360度无死角清洗，并防止细菌滋生

专项研发双流体旋转喷射清洗方式，实现超微精密清洗，最佳节能设计;高效干燥技术，amc 化合物去除技术

全生产过程实时监控，兼容自动传输系统(amhs);semi通讯标准兼容gem300，符合semi s2、s8标准

高产量，最优占地面积设计


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